面向高精度、大范圍微納米位移測量場景，同時(shí)具備厘米級量程、納米級分辨率、原理線性、內(nèi)生自校準(zhǔn)四大核心特性的新一代激光位移傳感器，俗稱 “納米測尺"。實(shí)現(xiàn)大范圍測量下長期穩(wěn)定納米級檢測，可大幅降低設(shè)備標(biāo)定、維護(hù)成本。

核心服務(wù)領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造（光刻機(jī)、晶圓精密檢測）、數(shù)控機(jī)床、航空航天發(fā)動機(jī)、精密科學(xué)儀器、生物醫(yī)療器械等高精密制造與科研場景。

1、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

2、產(chǎn)品三大核心特性

?  大范圍 + 高精度兼容 攻克傳統(tǒng)傳感器 “量程 - 精度" 不可調(diào)和的固有矛盾，40–100mm 厘米級量程內(nèi)穩(wěn)定維持 5nm 超高分辨率，市面商用傳感器無法實(shí)現(xiàn)同等綜合性能。

?  內(nèi)生自校準(zhǔn)，免高頻標(biāo)定 自校準(zhǔn)為原理自帶屬性，無需外接標(biāo)準(zhǔn)基準(zhǔn)件；長期使用精度無漂移，大幅減少定期外部標(biāo)定工序，降低設(shè)備運(yùn)維成本。

?  高穩(wěn)定、強(qiáng)抗干擾 搭建完整儀器化工藝與穩(wěn)定性保障體系，可在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境中長期穩(wěn)定運(yùn)行，環(huán)境適應(yīng)性優(yōu)于電感、電容類傳統(tǒng)微米傳感器。

3、核心技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)

?  原創(chuàng)測量原理：提出并落地 “激光器自感" 位移測量新機(jī)制，全新技術(shù)路線區(qū)別于干涉、三角測距等傳統(tǒng)方案。

?  貓眼逆向器腔鏡方案：解決高精度激光傳感器腔鏡失諧難題，拓展測量量程、簡化設(shè)備裝調(diào)流程。

?  偏振模競爭精準(zhǔn)解算：量化調(diào)控激光正交偏振模競爭規(guī)律，穩(wěn)定鎖定 λ/8 基礎(chǔ)分辨率，細(xì)分至 5nm 納米精度。

?  成套儀器化穩(wěn)定體系：形成完整量產(chǎn)工藝、光路校準(zhǔn)、信號降噪方案，支撐工業(yè)場景長期連續(xù)工作。

4、核心應(yīng)用場景明細(xì)

?  半導(dǎo)體行業(yè)：光刻機(jī)工件臺位移閉環(huán)控制、晶圓翹曲 / 厚度精密檢測、芯片制程微位移監(jiān)測

?  高精密裝備制造：五軸數(shù)控機(jī)床導(dǎo)軌定位檢測、精密進(jìn)給臺位移校準(zhǔn)

?  航空航天：發(fā)動機(jī)零部件形位公差測量、精密裝配微位移監(jiān)控

?  精密科研儀器：光學(xué)平臺位移反饋、微納實(shí)驗(yàn)室精密定位系統(tǒng)

?  生物醫(yī)療設(shè)備：精密顯微操作平臺、醫(yī)用高精度檢測設(shè)備位移傳感

5、測量原理

?  核心理念：激光器即傳感器 依托激光頻率對諧振腔腔長變化的高靈敏度特性，將激光諧振腔本身作為測量傳感單元。

?  頻率分裂與偏振調(diào)制 在激光諧振腔內(nèi)引入雙折射效應(yīng)產(chǎn)生頻率分裂，利用正交偏振模競爭效應(yīng)，將連續(xù)腔長位移變化轉(zhuǎn)化為激光輸出偏振態(tài)周期性變化。

?  信號解算輸出 通過偏振分光模塊 + 邏輯判向電路，將偏振態(tài)周期變化轉(zhuǎn)換為可區(qū)分運(yùn)動方向的位移脈沖序列，實(shí)現(xiàn)位移量化解算。

?  關(guān)鍵創(chuàng)新技術(shù) 發(fā)明引入貓眼逆向器作為腔鏡，解決傳統(tǒng)激光傳感器腔鏡易失諧、量程受限、裝調(diào)難度大的核心瓶頸；揭示激光正交偏振模競爭與功率調(diào)諧規(guī)律，精準(zhǔn)控制偏振狀態(tài)實(shí)現(xiàn)納米級細(xì)分。