LH1002雙頻激光器

LH1002雙頻激光器采用聲光移頻技術(shù)，頻差穩(wěn)定性高，不受溫度與磁場(chǎng)影響，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期無漂移測(cè)量。出光功率0.5~1.2mW，正交線偏振無需額外起偏，非線性誤差小。

多軸分光后光強(qiáng)低至10%仍可穩(wěn)定采集，支持靈活擴(kuò)展多鏡組測(cè)量。波長(zhǎng)穩(wěn)定性優(yōu)異、預(yù)熱快，兼顧計(jì)量標(biāo)定與復(fù)雜工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)，適用于實(shí)驗(yàn)室及嚴(yán)苛環(huán)境。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 雙頻頻差：20 MHz ±1600 Hz

• 光斑直徑：3/6mm

• 工作波長(zhǎng)：632.99nm

• 穩(wěn)頻精度： ±0.02ppm

• 設(shè)備兼容光刻機(jī)干涉儀標(biāo)準(zhǔn)安裝尺寸與

      通用數(shù)據(jù)接口；

• 測(cè)速能力突出，極限測(cè)速約 6m/s，適

      配高速直線電機(jī)、晶圓臺(tái)動(dòng)態(tài)檢測(cè)；

• 頻差由AOM晶振控制，不受激光管溫度、磁場(chǎng)影響，頻差穩(wěn)定性高，長(zhǎng)期測(cè)量無頻漂